2. ESD-Forum 1991 (Neuss)
Tagungsprogramm
Sitzung 1: ESD-Schutz in der Mikroelektronikanwendung/produktion
- ESD-Schutzstrategie für Mikroelektronikhersteller
U. Bethäuser – Siemens Nixdorf - Untersuchung verschiedener Konzepte zur Prüfung der ESD-Schutzwirkung von "Transparent Static Shielding Bags" in Anlehnung an den ANSI EIA-514 Standard
K. Schumacher – 3M Laboratories Europe GmbH - Bestimmung der Schutzwirkung von Verpackungsbeuteln verschiedener Konstruktionsprinzipien mit einem Aufbau gemäß EIA-541
R. Gärtner – Universität der Bundeswehr München - Anforderungsprofil für Schutzbeutel gegen Elektrostatik und relevante Testmethoden
H.-P. Brandt – 3M Laboratories Europe GmbH - Untersuchung der triboelektrischen Eigenschaften von Verpackungsfolien (Inclined Plane Test)
R. Gärtner – Universität der Bundeswehr München - Surface Resistivity: Why?
P. Malinverni – Grace Italiana S.p.A.
Sitzung 2: ESD-Simulation
- Vergleich von HBM-Testgeräten nach einem erweiterten MIL-Standard
H. Baumgärtner – Universität der Bundeswehr München - Aufbau eines Rechteckimpulsgenerators nach dem "Transmission-Line-Prinzip" und in-Situ-Messungen an integrierten Halbleiterstrukturen
C. Russ – TU München - Hochfrequenztechnische Charakterisierung eines Testaufbaus nach dem "Charged Device Model" mit Empfehlungen zu Testeraufbau und Testablauf
H. Gieser – TU München
Sitzung 3: ESD in der integrierten Schaltung
- Schaltungsstress durch ESD - Schützen CMOS-Eingangsschutzstrukturen die Schaltung oder umgekehrt?
X. Guggenmos – Siemens AG - Einfluß des Serienwiderstandes durch "on chip" Versorgungsleitungen auf das ESD-Verhalten eines Bausteins
H. Terletzki – Siemens AG - Feldemissionstrukturen für ESD-Schutzschaltungen im Mikrowellenbereich
K. Bock – TH Darmstadt - Elektro-thermische Simulation integrierter Halbleiterstrukturen
T. Körfer – TU München - Latente ESD-Fehler
V. Dudek – Institut für Mikroelektronik Stuttgart